東京工芸大学工学研究科建築学・風工学専攻 グローバルCOEプログラム支援室 〒243-0297神奈川県厚木市飯山1583TEL&FAX046-242-9658(直通)E-mail:gcoeoffice@arch.t-kougei.ac.jp
熱式質量流量計は、発熱線の冷却速度が管内流速とそのガス成分によって決定されることから質量流量を求めるものである。大流量を測定するTH−1500は0〜1000ℓ/min、小流量を測定するTF−2000は10〜200 ℓ/minの流量を測定でき、精度は±1%である。
写真1 熱式質量流量計